用於線上檢測的電腦視覺和 AI

針對 Intel 組裝和測試工廠，Intel IT 運用電腦視覺和 AI 執行線上檢測。

Intel IT 的主要職責之一，便是確保 Intel 全球工廠網路維持高效運作。在過去十年間，我們推出眾多自動化人工智慧（AI）技術解決方案，不僅大幅減少浪費，更能提升產品品質。近期，我們新增一項使用電腦視覺（CV）和機器學習的新功能，可在組裝和測試過程中執行線上檢測。相較於離線檢測，線上檢測能夠更快找出缺陷與工具問題。此外，我們的解決方案智慧晶圓視覺檢測（IWVI）能夠輕鬆偵測任何缺陷，無論是使用顯微鏡也難以察覺的細微缺陷，或是製程完成後幾乎無法發現的缺陷。

該解決方案運用研磨工具執行晶圓薄化製程，並安裝保護性聚酯膜，同時以高解析度攝影機每秒拍攝多張影像。邊緣機器學習模型會分析這些影像。如果偵測到缺陷，該解決方案會發出警報，甚至停止執行工具。

該解決方案包括 Intel® Core™ i9 處理器、Intel® Xeon® 可擴展處理器和 Intel® ARC A770 獨立 GPU，現已部署至所有 Intel 組裝和測試工廠。

IWVI 解決方案無疑是關鍵解決方案，有助於確保 Intel 未來工廠新一代產品的品質與可靠性。該解決方案採用標準化設計，可實現快速部署並輕鬆擴展至新使用案例。PoC 證明該解決方案可精準識別晶圓薄化製程的各種缺陷類型，包括壓痕、各種尺寸的刮痕、磨痕、污漬、裂痕、氣泡、晶圓移位和安裝移位。

據 PoC 顯示，相較於離線檢測，線上檢測能更迅速偵測出高達 50% 的晶圓薄化問題。當 IWVI 發出警報時，工廠可針對晶圓重新加工，從而避免下游製程中整個晶圓分層。更重要的是，該解決方案超越了離線量測所能實現的範疇：

• 即時偵測任何偏移。

• 偵測製程缺陷並迅速關閉工具。

• 啟用檢測晶圓框架清潔度和內環的新功能。

透過 IWVI 解決方案，我們實現了多項業務優勢：

• 減少廢料，每年可為 Intel 節省高達 200 萬美元。

• 降低業務風險。

• 提升產品品質。

• 協助工程師擺脫繁瑣的手動離線檢測流程。

我們預期這項解決方案最終會擴展至其他製程，也迫不及待與其他製造商分享成功的果實，從而將該技術應用於更多不同使用案例。